MKSIMKS仪器公司:其在气体、真空仪器领域为全球领导厂

MKS Instruments, Inc.成立于1961年,总部设在麻州的Andover,在气体、真空仪器应用方面居于全球之技术领先的地位,主要产品包括测量和控制系统、监控与控制气体等,用于尖端之材料科学或制程技术的改善,从精密的半导体业、光电业、工业用工具的表面涂装、食品及制药工业等范围,这些制程都牵涉到在控制的环境内使分子气相及固相发生适当的反应,以便在材料上形成不同的材质或薄膜。

MKSI也通过各种相关产品以管理、监测及控制气体、压力等条件,提供制程所须的环境;另外,亦提供各种制程产生器,包括电浆产生器、微波产生器、臭氧产生器、射频供应器等相关元件供应制程所环境,以达到制程控制。

MKSI网址:http://www.mksinst.com/

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